組織機(jī)構(gòu)：中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所
 

　　論壇召集人：中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所研究員 汪正研究員
 

　　專題論壇日程安排：
 

 

　　報(bào)告人：中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 趙德剛研究員
 

　　報(bào)告題目：氮化鎵半導(dǎo)體激光器材料行業(yè)現(xiàn)狀及趨勢(shì)
 

　　
       趙德剛，博士，中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體所研究員、博士生導(dǎo)師，2009年國(guó)家杰出青年科學(xué)基金獲得者，2011年中國(guó)青年科技獎(jiǎng)獲得者，2017年國(guó)家百千萬人才工程入選者，2018年國(guó)家中青年科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才，2019年國(guó)家萬人計(jì)劃入選者，國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃首席科學(xué)家，享受國(guó)務(wù)院政府特殊津貼專家，中國(guó)科學(xué)院特聘研究員。1994、1997年在電子科技大學(xué)分別獲得學(xué)士、碩士學(xué)位，2000年在中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體所獲得博士學(xué)位，主要從事氮化鎵基光電子材料與器件研究，研制出我國(guó)第一支氮化鎵基紫外激光器、長(zhǎng)壽命大功率藍(lán)光激光器和紫外雪崩光電探測(cè)器，發(fā)表SCI論文380多篇，獲得國(guó)家發(fā)明專利40多項(xiàng)。
 

　　報(bào)告摘要：氮化鎵(GaN)基材料被稱為第三代半導(dǎo)體，其光譜范圍覆蓋了從近紅外、可見光到深紫外全波段，在光電子學(xué)領(lǐng)域有重要的應(yīng)用價(jià)值。GaN基藍(lán)光LED的發(fā)明引發(fā)了照明技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的革命，而GaN基激光器在激光顯示、激光照明、激光加工等領(lǐng)域有重要的應(yīng)用，更是高難度的光電子器件，受到了廣泛關(guān)注。本報(bào)告從分析GaN基激光器的主要難點(diǎn)出發(fā)，深入探討了材料外延、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和器件工藝等技術(shù)，揭示了激光器的可靠性機(jī)理，獲得了高性能器件結(jié)果，并對(duì)未來GaN基激光器的發(fā)展趨勢(shì)做了探討。
 

　　報(bào)告人：中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所  汪正研究員
 

　　報(bào)告題目：等離子體質(zhì)譜在半導(dǎo)體用高純材料的分析研究
 

　　　　

       汪正，博士，中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所研究員，博士生導(dǎo)師，材料譜學(xué)組分表征與應(yīng)用課題組長(zhǎng)。主持科技部?jī)x器研制重大專項(xiàng)、國(guó)家自然科學(xué)基金、中科院儀器研制項(xiàng)目、中科院儀器設(shè)備功能開發(fā)技術(shù)創(chuàng)新項(xiàng)目和上海科委基金等多項(xiàng)科研任務(wù)。在國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)刊物Applied Catalysis B: Environmental，Chem. Eng. J.，Anal. Chem.等發(fā)表論文100余篇，是國(guó)際和國(guó)內(nèi)期刊《Atomic Spectroscopy》、《Chinese Chemical Letters》、《光譜學(xué)與光譜分析》、《理化檢驗(yàn)-化學(xué)分冊(cè)》和《中國(guó)無機(jī)分析化學(xué)》編委。出版學(xué)術(shù)專著2部，建立國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)5項(xiàng)，企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)10余項(xiàng)。獲授權(quán)國(guó)內(nèi)專利20余項(xiàng)，美國(guó)專利1項(xiàng)。2010和2018年兩次獲得中國(guó)分析測(cè)試協(xié)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)( 排名均為第一)。擔(dān)任中國(guó)質(zhì)量檢驗(yàn)協(xié)會(huì)檢驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備分會(huì)應(yīng)用原子光譜專業(yè)委員會(huì)的副主任委員、中國(guó)儀器儀表學(xué)學(xué)會(huì)分析儀器分會(huì)第十屆理事，中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)光譜儀器專業(yè)委員會(huì)副秘書長(zhǎng)、原子光譜專業(yè)委員會(huì)委員、離子色譜專業(yè)委員會(huì)委員, 中國(guó)儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)在線分析儀器分會(huì)專家委員會(huì)委員以及中國(guó)稀土學(xué)會(huì)稀土生物醫(yī)學(xué)專業(yè)委員會(huì)委員。研究方向?yàn)榘雽?dǎo)體材料質(zhì)譜色譜表征研究及儀器設(shè)備研制。
 

　　報(bào)告摘要：匯報(bào)內(nèi)容涉及電感耦合等離子體質(zhì)譜在集成電路的廣泛應(yīng)用，隨后介紹 電感耦合等離子體質(zhì)譜結(jié)構(gòu)原理及干擾去除，接著介紹 電感耦合等離子體質(zhì)譜在高純材料分析的應(yīng)用研究，最后介紹激光剝蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜在高純材料分析的應(yīng)用探索。
 

　　報(bào)告人：中山大學(xué) 李攻科教授
 

　　報(bào)告題目：分離富集檢測(cè)一體化SERS基底用于復(fù)雜樣品快速分析研究
 

　　　　

       李攻科，中山大學(xué)教授，博士生導(dǎo)師，逸仙學(xué)者、分析化學(xué)學(xué)科負(fù)責(zé)人。研究方向?yàn)闃悠非疤幚?、色譜/質(zhì)譜/光譜分析、復(fù)雜快速檢測(cè)。已主持包括國(guó)家基金重點(diǎn)項(xiàng)目、國(guó)家基金儀器專項(xiàng)項(xiàng)目、國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)課題、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目課題、廣東省重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃專項(xiàng)等國(guó)家、省、市級(jí)項(xiàng)目40多項(xiàng)。以第一作者或通訊作者發(fā)表SCI科研論文300余篇、出版著作2部；授權(quán)國(guó)家發(fā)明專利60件；研制分析儀器/裝置/部件22臺(tái)/套。獲省部級(jí)科研獎(jiǎng)勵(lì)3項(xiàng)，獲寶鋼教育基金優(yōu)秀教師獎(jiǎng)、中國(guó)女分析化學(xué)家獎(jiǎng)、中國(guó)色譜貢獻(xiàn)獎(jiǎng)。入選The analytical scientist"2016年分析科學(xué)界最有影響力50位女科學(xué)家"、“2019年及2021年世界最具影響力100位分析科學(xué)家”榜單。擔(dān)任Journal of Chromatography A副主編、教育部高等學(xué)?；瘜W(xué)類專業(yè)教學(xué)指導(dǎo)委員會(huì)委員、中國(guó)化學(xué)會(huì)色譜專業(yè)委員會(huì)副主任等。
 

　　報(bào)告摘要：復(fù)雜樣品制備作為分析過程中最耗時(shí)、易引起誤差的關(guān)鍵環(huán)節(jié), 嚴(yán)重制約了復(fù)雜樣品快速檢測(cè)的速度、準(zhǔn)確度和精密度。本文依據(jù)不同食品樣品中目標(biāo)物的快速檢測(cè)需求，集磁、膜、微流控快速分離技術(shù)與表面增強(qiáng)拉曼光譜(SERS)檢測(cè)技術(shù)于一體，設(shè)計(jì)和研制了多種一體化SERS基底，結(jié)合衍生化反應(yīng)、適配體捕獲以及酶催化等技術(shù)提高方法的選擇性，建立了系列食品安全風(fēng)險(xiǎn)物質(zhì)快速檢測(cè)方法，實(shí)現(xiàn)了復(fù)雜樣品中痕量物質(zhì)的快速檢測(cè)，分析結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)方法分析結(jié)果吻合，分析時(shí)間小于30 min。快速樣品前處理/SERS檢測(cè)一體化策略，可為復(fù)雜樣品中目標(biāo)物的快速檢測(cè)提供一種新思路和方法借鑒，具有良好的應(yīng)用前景。
 

　　報(bào)告人：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 曹永友高級(jí)工程師
 

　　報(bào)告題目：半導(dǎo)體潔凈制造理論及超高純檢測(cè)分析技術(shù)的應(yīng)用與展望
 

　　　　

       曹永友，高級(jí)工程師，2015年博士畢業(yè)于清華大學(xué)機(jī)械系及材料學(xué)院，后加入北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，現(xiàn)任供應(yīng)鏈技木發(fā)展中心總經(jīng)理兼材料技術(shù)部總監(jiān)、公司技委會(huì)機(jī)械/材抖/ESC分會(huì)常委、中級(jí)講師。主要負(fù)貴公司零部件材料技木平臺(tái)能力建設(shè)，參與或負(fù)責(zé)多項(xiàng)裝備用零部件，零部件用材料等關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目。歷任刻蝕事業(yè)部機(jī)械工程師、供應(yīng)鏈企劃部部長(zhǎng)、供應(yīng)鏈工程技術(shù)部部長(zhǎng)、供應(yīng)鏈技術(shù)認(rèn)證部長(zhǎng)、先進(jìn)材料研究中心主任、供應(yīng)鏈工程技術(shù)中心總經(jīng)理。專長(zhǎng)領(lǐng)域包括：集成電路設(shè)備工藝技術(shù)、半導(dǎo)體設(shè)備腔室材料及表面工程、材料加工計(jì)算模擬仿真、半導(dǎo)體潔凈制造理論、精確拷貝、質(zhì)量管理、裝備零部件用超高純材料(陶瓷/石英/石墨/不銹鋼/鋁合金等)、高階涂層及表處、微污染控制、精密洗凈等。已發(fā)表論文12篇(SCI6篇)，申請(qǐng)7項(xiàng)專利，已授權(quán)4項(xiàng)。
 

　　報(bào)告摘要：集成電路裝備產(chǎn)業(yè)是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的重要組成部分，擁有極高的技術(shù)門檻，需要零部件及上游原材料產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同創(chuàng)新。本報(bào)告基于半導(dǎo)體IRDS路線圖及摩爾定律介紹半導(dǎo)體行業(yè)，核心工藝裝備及上游零部件原材料技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)，精確復(fù)制(CE!)變更管理理念，SEMI標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用，詳細(xì)闡述半導(dǎo)體潔凈制造理論、微污染控制、超高純零部件材料分析檢測(cè)技術(shù)，針對(duì)超高純零部件材料加工研發(fā)應(yīng)用中存在問題和挑戰(zhàn)，探討集成電路裝備產(chǎn)業(yè)鏈的交叉科學(xué)與工程應(yīng)用的協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制。
 

　　報(bào)告人：中山大學(xué)電子與信息工程學(xué)院 劉川教授
 

　　報(bào)告題目：場(chǎng)效應(yīng)晶體管非理想特性的分析與利用
 

　　　　

       劉川，中山大學(xué)教授、博士生導(dǎo)師，1981年10月出生。國(guó)家優(yōu)秀青年基金獲得者，現(xiàn)任中山大學(xué)電子與信息工程學(xué)院(微電子學(xué)院)副院長(zhǎng)。從事半導(dǎo)體材料和薄膜晶體管研究，在器件理論模型、高遷移率高穩(wěn)定性器件、氧化物-硅基器件混合集成等方面取得創(chuàng)新成果，以第一作者或通訊作者在Nature Electronics、Science Advances等期刊上發(fā)表SCI期刊論文和和IEDM頂級(jí)會(huì)議上發(fā)表論文超過80篇，論文被他人引用超過5000次。承擔(dān)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)項(xiàng)目課題、省應(yīng)用研發(fā)專項(xiàng)等項(xiàng)目。獲韓國(guó)信息顯示協(xié)會(huì)獎(jiǎng)金獎(jiǎng)，獲英國(guó)物理學(xué)會(huì)IOP頒發(fā)的青年人員研究獎(jiǎng)。指導(dǎo)學(xué)生獲中國(guó)電子學(xué)會(huì)集成電路一等獎(jiǎng)學(xué)金1名。在國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)會(huì)議上作Tutorial和邀請(qǐng)報(bào)告30余次。授權(quán)發(fā)明專利6 項(xiàng)和軟件著作權(quán)1項(xiàng)。任國(guó)際SCI期刊Journal of Society for Information Display副編輯、Journal of Information Display副編輯、Semiconductor Science and Technology編委等。
 

　　報(bào)告摘要：新材料的出現(xiàn)為薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管的基礎(chǔ)理論和器件機(jī)理帶來了新的重要問題。揭示新材料的固有電特性對(duì)新材料和新器件的基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究都非常重要。許多新開發(fā)的納米線、二維納米片、有機(jī)小分子或聚合物已被用于制造場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FET)或薄膜晶體管(TFT)。然而,由于電極功函數(shù)不匹配、界面缺陷態(tài)、熱損害、各向異性輸運(yùn)、界面俘獲等,許多器件偏離理想晶體管的特性,這給深入研究這些半導(dǎo)體的輸運(yùn)特性和器件的工作狀態(tài)帶來了很大困難。有機(jī)半導(dǎo)體和氧化物半導(dǎo)體的優(yōu)勢(shì)非常明顯,可以通過較低溫度甚至溶液工藝制備薄膜器件,并具有可彎曲性。但它們都存在一個(gè)共同的缺點(diǎn),即晶體結(jié)構(gòu)的無序?qū)е麓罅咳毕輵B(tài)。這導(dǎo)致與基于共價(jià)鍵硅的晶體管器件相比,場(chǎng)效應(yīng)現(xiàn)象中的電荷注入和電荷輸運(yùn)機(jī)理存在顯著差異。本報(bào)告將從理論和實(shí)驗(yàn)的角度探討薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管理論模型和特性控制的新思路。
 

　　報(bào)告人：上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院集成電路產(chǎn)業(yè)中心 李春華高級(jí)工程師
 

　　報(bào)告題目：痕量檢測(cè)技術(shù)在集成電路材料領(lǐng)域的應(yīng)用
 

　　　　

       李春華，男，漢族，華東理工大學(xué)材料科學(xué)與工程專業(yè)畢業(yè)，研究生碩士，九三學(xué)社社員。2009年3月參加工作，高級(jí)工程師，國(guó)家一級(jí)注冊(cè)計(jì)量師，現(xiàn)任上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院集成電路產(chǎn)業(yè)計(jì)量檢測(cè)中心主任兼上海市電子化學(xué)品計(jì)量檢測(cè)技術(shù)服務(wù)平臺(tái)技術(shù)主管。擔(dān)任全國(guó)化學(xué)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)化學(xué)試劑分會(huì)委員，至今已參與起草國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)10余項(xiàng)。從事痕量分析15年，熟悉集成電路材料中無機(jī)元素的方法開發(fā)和驗(yàn)證工作，參與集成電路材料產(chǎn)業(yè)化和國(guó)產(chǎn)化項(xiàng)目數(shù)十項(xiàng)，所屬實(shí)驗(yàn)室在濕電子化學(xué)品、電子級(jí)多晶硅、硅片、光刻膠、拋光液、金屬靶材和電子級(jí)氣體領(lǐng)域已通過CNAS和CMA認(rèn)證。
 

　　報(bào)告摘要：集成電路材料是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)，痕量雜質(zhì)是集成電路材料的重要質(zhì)量指標(biāo)。隨著制程工藝的不斷進(jìn)步，雜質(zhì)控制水平也越來越嚴(yán)苛。報(bào)告介紹GDMS、ICPMS、IC、VPD等技術(shù)的發(fā)展和在痕量檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用。
 

　　報(bào)告人：中國(guó)科學(xué)院上海有機(jī)化所 王昊陽(yáng)高級(jí)工程師
 

　　報(bào)告題目：有機(jī)半導(dǎo)體材料的體系化質(zhì)譜分析方法
 

　　　　

       王昊陽(yáng)，博士，高級(jí)工程師，碩士研究生導(dǎo)師，上海有機(jī)化學(xué)研究所質(zhì)譜組課題組長(zhǎng)。2013年入選中科院青年創(chuàng)新促進(jìn)會(huì)，2017年入選中國(guó)科學(xué)院關(guān)鍵技術(shù)人才項(xiàng)目，2022年受聘科學(xué)院首批特聘研究骨干(技術(shù)攻堅(jiān)類)崗位。曾主持國(guó)家自然科學(xué)基金5項(xiàng)，發(fā)表科研論文100余篇，包括有：J. Am. Chem. Soc.(4篇)，ACS Catal.(通訊作者3篇)，Anal. Chem. (通訊作者2篇)，為Wiley-VCH和Taylor & Francis出版社的兩部科研專著撰寫了章節(jié)。專業(yè)特長(zhǎng)：致力于解決有機(jī)化學(xué)和質(zhì)譜學(xué)中挑戰(zhàn)性難題，基于化學(xué)基本理論發(fā)展新質(zhì)譜技術(shù)與裝備。擅長(zhǎng)未知物的質(zhì)譜解析和復(fù)雜體系中微量雜質(zhì)的定性與定量分析，在新型有機(jī)半導(dǎo)體材料和聚合材料的質(zhì)譜分析領(lǐng)域具備豐富的研究經(jīng)驗(yàn)。
 

　　報(bào)告摘要：有機(jī)半導(dǎo)體材料是以有機(jī)電子學(xué)為基礎(chǔ)衍生發(fā)展而來的新型有機(jī)材料種類，通過對(duì)有機(jī)半導(dǎo)體材料分子結(jié)構(gòu)分析及性能研究，對(duì)提升有機(jī)半導(dǎo)體材料性能，拓展有機(jī)半導(dǎo)體材料的應(yīng)用有重要意義。根據(jù)有機(jī)半導(dǎo)體材料領(lǐng)域具體的分析與測(cè)試需求和研究對(duì)象的不同，需要建立體系化的質(zhì)譜分析方法與手段。采用高分辨質(zhì)譜技術(shù)結(jié)合不用離子化方式，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)半導(dǎo)體材料分子結(jié)構(gòu)的表征和分析，還可以結(jié)合熱脫附/熱裂解分析對(duì)有機(jī)半導(dǎo)體材料中的聚合物及其相關(guān)添加劑進(jìn)行分析。只有通過這種多種質(zhì)譜學(xué)技術(shù)的融合方式，建立體系化質(zhì)譜分析方法，并進(jìn)一步緊密結(jié)合光譜和NMR技術(shù)才能真正有效的有機(jī)半導(dǎo)體材料的表征與分析，進(jìn)而避免分析中的盲點(diǎn)和誤區(qū)。
 

　　報(bào)告人：中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 李青副研究員
 

　　報(bào)告題目：離子色譜在高純材料分析的應(yīng)用
 

　　
       李青，博士，中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所副研究員。主要從事高純材料分析方法開發(fā)、光譜質(zhì)譜儀器研制等工作。先后主持承擔(dān)了包括國(guó)家自然科學(xué)基金、上?？莆?xiàng)目、中國(guó)科學(xué)院儀器功能開發(fā)項(xiàng)目等各類研發(fā)項(xiàng)目5項(xiàng)。目前在Anal. Chem., Anal. Chim. Acta等國(guó)際期刊發(fā)表論文10余篇，獲授權(quán)國(guó)內(nèi)專利14項(xiàng)，美國(guó)專利1項(xiàng)。
 

　　報(bào)告摘要：陰陽(yáng)離子分析涉及生物醫(yī)學(xué)、集成電路、環(huán)境、食品安全等重要研究課題。利用離子色譜技術(shù)測(cè)定離子態(tài)物質(zhì)的檢測(cè)方法，分析速度快、靈敏度高、選擇性好，已被廣泛應(yīng)用。本報(bào)告將主要介紹高純電子試劑、高純晶體、OLED材料中痕量鹵素離子的分析方法。
 

　　關(guān)于ACAIC 2024
 

　　第九屆中國(guó)分析儀器學(xué)術(shù)大會(huì)(ACAIC 2024)將于2024年11月14-16日在廣東省深圳市召開。會(huì)議主題為“下一代分析儀器”，本次會(huì)議將研究和探討未來幾年分析儀器發(fā)展方向及布局建議，集中宣傳最新分析儀器及其關(guān)鍵部件高水平研發(fā)成果，進(jìn)一步提升用戶對(duì)國(guó)產(chǎn)儀器和國(guó)產(chǎn)關(guān)鍵部件的信心。
 

　　主辦單位：中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)分析儀器分會(huì)
 

　　承辦單位：中國(guó)科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
 

　　專題論壇：
 

　　1.分析儀器重大研發(fā)成果進(jìn)展交流及展望論壇
 

　　2.生命科學(xué)創(chuàng)新與下一代分析儀器論壇
 

　　3.探索未來：下一代質(zhì)譜技術(shù)創(chuàng)新與突破論壇
 

　　4.光譜儀及核心元器件技術(shù)創(chuàng)新論壇
 

　　5.下一代熱分析與量熱儀器創(chuàng)新與應(yīng)用論壇
 

　　6.智能生物傳感技術(shù)創(chuàng)新論壇
 

　　7.下一代空間多組學(xué)檢測(cè)技術(shù)論壇
 

　　8.半導(dǎo)體材料/器件高質(zhì)量發(fā)展與下一代分析儀器論壇
 

　　9.下一代材料結(jié)構(gòu)與界面分析技術(shù)論壇
 

　　10.高質(zhì)量?jī)x器共享和國(guó)產(chǎn)儀器推廣應(yīng)用論壇
 

　　詳細(xì)信息請(qǐng)見：第九屆中國(guó)分析儀器學(xué)術(shù)大會(huì)(ACAIC 2024) 第二輪通知
 

　　組織機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)介：
 

　　中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所(簡(jiǎn)稱上海硅酸鹽所)淵源于1928年成立的國(guó)立中央研究院工程研究所，經(jīng)過九十多年的發(fā)展，上海硅酸鹽所現(xiàn)已成為集材料前沿探索、高技術(shù)創(chuàng)新、應(yīng)用發(fā)展研究為一體的無機(jī)非金屬材料科研機(jī)構(gòu)，形成了“基礎(chǔ)研究—應(yīng)用研究—工程化、產(chǎn)業(yè)化研究”有機(jī)結(jié)合的較為完備的科研體系。上海硅酸鹽所目前籌建關(guān)鍵陶瓷全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(聚焦航空航天和半導(dǎo)體陶瓷領(lǐng)域)，擁有無機(jī)材料分析測(cè)試中心，主要從事無機(jī)材料測(cè)試技術(shù)方法研究、測(cè)試設(shè)備研制和測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)制定等工作。中心目前擁有球差透射電鏡、輝光放電質(zhì)譜、電感耦合等離子體質(zhì)譜、微米CT等原值超過1.8億元的設(shè)備，測(cè)試服務(wù)實(shí)現(xiàn)了對(duì)于無機(jī)材料測(cè)試表征領(lǐng)域的全覆蓋，目前正聚焦于半導(dǎo)體材料與器件分析檢測(cè)技術(shù)和研究。