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如何呈現(xiàn)掃描電鏡樣品表面的“真實形貌”
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    2019年08月30日
關鍵詞
掃描電鏡,臺式電鏡,臺式掃描電鏡,桌面掃描電鏡,場發(fā)射電鏡
上傳者
復納科學儀器(上海)有限公司
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資料簡介

  掃描電子顯微鏡(SEM)是依靠電子束與樣品相互作用產(chǎn)生俄歇電子、特征 X 射線和連續(xù)譜 X 射線、背散射電子等信號,對樣品進行分析研究。
 
  掃描電鏡在表征樣品時,受諸多參數(shù)的影響,不同類型樣品應選用合適的參數(shù),才能呈現(xiàn)出樣品更真實的表面信息。如在不同的加速電壓下,電子束與樣品作用所獲得的信號會有很大的差別。從理論上說,入射電子在樣品中的散射軌跡可用 Monte Carlo 的方法模擬(如圖1 所示),并且推導得到入射電子大穿透深度 Zmax。
 
  Zmax=0.0019(A / Z)1.63E01.71/ρ
 
圖1 電子在鈦(Ti)金屬中的運動軌跡

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